扫描电镜sem的主要原理是什么?测试过程需要重点注意哪些操作

扫描电镜sem的主要原理是什么?测试过程需要重点注意哪些操作,第1张

电镜的原理是:电子枪发出电子束打到样品表面,激发出二次电子、背散射电子、X-ray等特征信号,经收集转化为数字信号,得到相应的形貌或成分信息。

测试注意事项:

1、新人找别人帮忙测试时,

明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,然后跟测试相关人员联系确定能否满足你的测试需求

2、新人自己操作测试时,

明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,

测试时注意样品干燥洁净,操作时样品和样品台避免撞到探头

烧结试样的 SEM 分析采用日本日立公司生产的 S-520 扫描电子显微镜完成。首先将试样的新鲜断裂面在 IB-3 离子溅射渡膜仪中喷渡厚度约为 10 ~20 nm 的金,对结构致密的部分试样断裂面采用 40%浓度的氢氟酸 ( HF) 侵蚀 20min 后进行镀金,然后放入 SEM样品室内进行观察,电子枪电压采用 20kV,电子束流为 150 mA,并用照相方式记录样品的二次电子图像 ( 或称之为形貌像) 。


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