请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序？

如果薄膜导电，不需要喷金等，可以先测AFM，再测SEM，最后测XRD否则先测AFM，再测XRD，最后测SEMAFM和XRD是无损检测，但AFM怕样品弄脏，所以一般先测。

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理论上单纯用SEM不能测出晶型，测晶型一般用XRD等仪器。扫描电镜只能观察形貌，分辨率可达亚微米级别。

不过对于特定的样品，如果具有明确的晶型，借助SEM形貌有可能分析出晶型（比如一种物质只有区别明显的两种晶型，借助确定的形貌可以推断是那种晶型）。另外，SEM通过加装EBSD附件，通过观察也有可能观察晶型

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