ocd光学线宽测量和cd-sem的区别

ocd光学线宽测量和cd-sem的区别,第1张

SEM作为显微镜,可以放大微观物体形态,一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下,放大倍数一般不会漂移,精度可靠。但随着温湿度变化,随着电磁环境变化,可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同,完全靠扫描线圈和电器元件控制,电器元件的老化,可能会引起放大倍数漂移,因此过两年需要校准放大倍数。另外SEM图像尺寸测量精度问题,这个情况和方舟子质疑韩2身高有些类似,许多人用图像测量得出的结果误差很大。但相同的测量方法精度很高!还有SEM作为材料分析平台,做化学成分分析,晶体结构分析。偏差可以保证2%以内。最后总结:精度靠方法和条件保证!前提是方法一致,条件不要变化!!

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

PixelSize=496.0938 没有单位吗? um,, nm ?

成像是数字图像,数字图像由很多像素组成如(512X512), 为了测量出实际物体的大小,就要先知道像素大小PixelSize,两个像素间的距离。数字图像上测量出来的是两点间有多少个像素,然后乘以像素大小PixelSize,就可以得出实际物体大小。像素大小PixelSize与放大倍率成反比。


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