FIB和SEM的优劣分析 从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.

FIB和SEM的优劣分析 从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.,第1张

FIB带有SEM功能;FIB另外的功能就是微加工.

SEM是电子束成像原理.

FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).

如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.

注: 并非用Ga+才叫FIB(In, Au.AsPd2),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).Focused(聚焦): 将离子束聚焦Ion(离子): Ga --- Ga+Beam(束):很多离子往同一路径(方向)移动________________________________________聚焦太阳光(光束)。

EM是扫描电镜,所加电压比较低,只是扫描用的,相当于高倍的显微镜TEM是透射电镜,所加电压高,可以打透样品,观察内部结构STEM是扫描透射,是扫描电镜里面的一个功能,可以说是山寨版的TEMSTM是扫描隧道显微


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