SEM制样时喷金为什么要用黄金或铂金类金属

金属镀膜法和组织导电法

镀导电膜对于sem有效分析不导电样品有不可缺少

但是导电膜也有可能由于本身的特点造成图像的扭曲甚至假象

一般导电膜无外乎三种材料：Au，Pt，C

专家建议,需要高分辨的情况下,尽量使用Pt或者Pt-Pd合金膜

因为它对图像的扭曲最小。

基于工艺过程应该将损耗降到最低的原则，则最佳效果是：薄膜上蒸镀的是什么金属，喷金层的第一枪（最内层）就喷什么金属以达到完美接触；最外层一般加大锡含量以方便用锡焊接引出电极。因为薄膜往往用铝膜或锌铝膜，但喷铝太难，所以最内层一般是喷锌或锡锌合金丝。

---