1、结构差异。主要体现在不同样品在电子束光路中的位置不同;
2、焦深不同。电子束在穿过样品时,会和样品中的原子发生散射,样品上某一点同时穿过的电子方向不同。
luomuwuhen(站内联系TA)用SEM分析样品,粒径大小可以直接看出来0523gy(站内联系TA)这个问题我也想问,继续关注。。。zhoufudong(站内联系TA)最近做了一个SEM,也不会分析,求助各位大侠绿茶咖啡(站内联系TA)颗粒形状粒径大小,可以结合XRD分析负载的话,物质的分布附着情况jason168(站内联系TA)呵呵,先补一下基本知识吧,当然了,是对你要做的东西的基本知识。你连做SEM想看什么都不知道,说明你对你的样品也不是很了解,这样子写的文章肯定也不咋的了。liuruiphd(站内联系TA)可以结合能谱分析相关元素的含量njucaijun(站内联系TA)最直观的是形貌和大小,还有粒子间或所关心的体系间的关系,比如分散状况,结合状况等。结合能谱可以知道元素信息,做面扫可以知道元素的分布图,结合扫描照片能得到一些有意思的结论。SEM是扫描电子显微镜
,主要用于电子显微成像,接配电子显微分析附件,可做相应的特征分析,
最常用的是聚焦
电子束
和样品相互作用区发射出的元素特征
X-射线
,可用EDS或者WDS进行探测分析,获得微区(作用区)元素成分信息,而EDS或者WDS这类电子显微分析附件却来源于EPMA。
SEM就是一个电子显微分析平台,分析附件可根据用户需要来选配,有需要这个的,有需要那个的,因此
扫描电镜
结构种类具有多样性,从tiny、small、little
style,to
middle、large、huge
style.
就EDS或WDS分析技术来讲,在SEM上使用,基本上使用无
标样
分析,获得很粗糙的
半定量
结果。
而EPMA在SEM商品化10年前,就已经开始实用了,其主要目的,就是要精确获得微米尺度晶粒或颗粒的成分信息.
主要分析手段是WDS,一般配置4个WDS,基于此,EPMA结构比较单一,各品牌型号结构差距不大。EMPA追求电子显微分析结果精准,因此
电子光学
设计不追求高分辨,电子显微分析对汇聚束的要求相匹配即可。
早期EPMA成像手段主要采用同轴
光学显微镜
,然后移动样品台或移动汇聚电子束,找到感兴趣区,当前依然保留同轴光镜,用来校准WD。EMPA对电子光学系统工作条件的稳定性要求超过SEM很多很多,控制系统增加了一些
负反馈
机制,确保分析条件和标样分析保持很小的误差。
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