sem通过探测哪种信号来获取样品表面成分信息

sem通过探测信号来获取样品表面成分信息，扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。

电子光学系统，由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径，信号收集及显示系统。

检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。

真空系统真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序，成比例地转换为视频信号，完成一帧图像，从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。

入射电子束射入样品表面，扩散成一个水滴状，从上至下激发出的信号有：

1、俄歇电子，深度埃米级别：能量很弱，扫描电镜探测器不能采集，有专门的俄歇电镜和俄歇能谱仪；

2、二次电子，深度亚微米到5μm级别：二次电子又分SE1和SE2，分别被电镜不同二次电子探测器接收，形成形貌像；

3、阴极荧光、连续X射线：扫描电镜探测器不能采集；

4、背散射电子：扫描电镜背散射探头采集，可形成元素成分分布像和元素成分+形貌像；

5、特征X射线：扫描电镜能谱仪接收，形成元素成分分布像和元素含量分布结果；

6、吸收电子：吸收了，没有然后；

7、透射电子：亚微米到微米级别厚度的样品可能透过样品产生透射电子，需要借助透射电镜采集，形成透射电镜像或者能谱结果。

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