怎么用SEM看薄膜截断面

怎么用SEM看薄膜截断面,第1张

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:

献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

您好,检测薄膜是否有析出物的方法有多种,其中最常用的方法是通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)来检测。XRD可以检测薄膜中的晶体结构,从而判断是否有析出物。SEM可以检测薄膜的表面形貌,从而判断是否有析出物。此外,还可以使用拉曼光谱(Raman spectroscopy)和热重分析(TGA)来检测薄膜中的析出物。


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