怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

您好，检测薄膜是否有析出物的方法有多种，其中最常用的方法是通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）来检测。XRD可以检测薄膜中的晶体结构，从而判断是否有析出物。SEM可以检测薄膜的表面形貌，从而判断是否有析出物。此外，还可以使用拉曼光谱（Raman spectroscopy）和热重分析（TGA）来检测薄膜中的析出物。

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