在sem实验中为什么要特别注意样品导电问题

在sem实验中为什么要特别注意样品导电问题,第1张

如果高分子样品导电性很差,在做sem时表面电荷累积,使得画面发白,分辨率下降。这时候可以在表面蒸镀上一层很薄的金或者碳,提高材料的导电性。当然,碳和金层必须非常薄,不影响材料原有性质。

材料表面镀导电材料的原因主要有两个,一个是避免材料荷电。所谓荷电其实就是入射电子的量大于产生的二次电子或者背散射电子的数量,从而导致在材料表面形成电子的富集(产生负电位)。由于负负相斥的原理,使得后面的入射电子不能在材料表面会聚,产生一系列的后果,例如聚焦不太容易聚清楚,表面形成一道一道白色的二次电子突然放电的现象。因此要得到满意的形貌,应该在材料表面形成一个有效的电子通路,即在样品台和材料表面有导电通路。最佳的办法就是在表面镀膜,这就是为什么扫描电镜要镀膜的原因。另一个原因是增加二次电子发射率,使图像信噪比增强,看上去更漂亮。


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