请教不导电样品的SEM观察

请教不导电样品的SEM观察,第1张

嘿嘿 这位同学应该刚刚接触到这个sem吧!简单的说吧——由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging)。

不导电不镀膜不能做扫描电镜。不导电物质在电镜模式下会发亮,就会无法看清其形貌并影响周围的微观结构观测。

扫描电镜是一种具有多项用途,应用Z为广泛的新型电子光学仪器,数十年来,随着科学技术的发展,扫描电镜已成为检测物质性能的重要手段,其已广泛地应用在金属、陶瓷、半导体等材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析及其他项目的研究中,是不可替代的设备。

扫描电镜具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点而在其制样过程中,镀膜是非常关键的一步,特别是对于不导电的材料。

扫描电镜的工作原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试样品表面形貌而对于非导电样品,由于其绝缘电阻非常大,当其在电子束的连续扫描下时,表面会逐渐积累负电荷,形成相当高的负电场。

首先,五氧化二钒导电性不太好;

另外,前些年传统电镜拍不导电样品效果很差,对于不导电样品需要喷金/白金/钨/铬等进行导电处理,现在随着电镜技术发展,好多电镜都可以直接拍摄不导电样品。

因此,是否需要喷金可以与电镜操作员沟通或者根据所使用的电镜型号网上查阅相关资料进行确认


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