测sem时的硅片的作用

检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜，硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料，是半导体产业链基础性的一环。

在做扫描电镜（SEM）测试时，大部分同学已经了解了SEM测试样品的相关要求，但是仍然有一部分同学不太清楚，今天铄思百检测小编整理了关于“SEM测试样品要求”希望能帮到大家！

SEM测试样品要求如下：

1.粉末、液体、薄膜、块体均可。粉末10mg，块体样品直径≤1cm，厚度＜1cm，；薄膜尺寸小于1*1*0.5cm；

2.混凝土，珊瑚沙，气凝胶，水凝胶等需要抽真空时间非常长的样品尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm

3. 需要脆断的样品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些；

要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。

SEM测试制样流程：

1、块体：直接用导电胶粘在样品台上测试，若需拍块体/薄膜截面，需明确截面制备方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆断两种方式；

2、液体：用移液枪取样品超声后的悬浊液，滴一滴于硅片或锡纸上，自然风干/红外灯烘干，烘干后将硅片或锡纸用导电胶粘在样品台上测试；

3、粉末：（1）直接用导电胶粘在样品台上测试；（2）乙醇分散制样：取少量样品于离心管中，加入 一定量无水乙醇（或水），室温超声 5-10min，随后采用 2 中液体的制样方式制样测试。

SEM测试样品要求注意事项：

1、样品含水，湿润是不能做SEM的；

2、易分解样品需明确分解条件（如温度等），若样品极易分解可能不能安排测试，因为分解后产生物质可能对测试仪器造成影响；

3、水凝胶等易吸潮样品寄样前请先确认样品暴露 4-5h 内是否会出现明显的吸潮现象，测试过程中样品吸潮会影响拍摄的同时也会对仪器造成损伤；

4、导电性不好（如半导体金属氧化物、生物样品及塑料、陶瓷等）或强磁样品建议选择喷金，不喷金可能会影响拍摄效果。

铄思百检测可做的SEM测试项目有：

表面形貌观察、EDS能谱点扫、EDS能谱线扫、EDS能谱面扫（mapping）；可镀金，非磁、弱磁、强磁样品，生物样品均可拍摄。

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bachier(站内联系TA)不是个笑话,SEM表征石墨烯的也不少,我也不做石墨烯,我们这一堆人做,他们都用SEM.石墨烯是导电的材料,不用喷金fansire(站内联系TA)喷了也没关系吧,我记得实验室的石墨烯SEM也是喷了金的xiejf(站内联系TA)导电性好,不要喷金.喷了反而会影响表征的准确度wulishi8(站内联系TA)石墨烯是导电的,不需要喷金. 不喷也行,看得还行,GO和RGO的导电性够了神魔流转(站内联系TA)GO 和石墨烯做SEM都是不必要的,AFM和TEM有用,但SEM是真心没用,除了做负载或特定形貌时可能需要观察下.jiji188(站内联系TA)不喷也行,我们实验室一般都是滴在ITO上直接照SEM的,效果还行.梦日边(站内联系TA)我做的表征时喷金了,看了还挺清楚,没试过不喷金zmcai(站内联系TA)你的SEM是不是有问题,我们一般是放在硅片上,硅片是半导体,有导电能里,但是你用二氧化硅行么?我们一般都是直接涂在做SEM的硅片上拍电极,不用喷金也可以.如果你喷金了,导电性会好些,但是如果没控制好,可能会看到大颗粒的金,也是会影响表征的.zhouzhixin(站内联系TA)不需要喷金的,直接滴到硅片上的,这个主要还得看你的石墨烯粒径大小,太小的话看不出来什么有用的信息fluoro(站内联系TA)我们表征石墨都不喷,效果还挺清晰的苏惜不若(站内联系TA)不用喷金的,导电性很好的.yjiaahedu(站内联系TA)SEM可以表征,也不需要蒸金,若观察到褶皱的话,说明层数较少,但是无法确定是石墨烯还是石墨片,需要HRTEM和拉曼光谱（波数50-3000）:Dyy秋水(站内联系TA)哈哈,不用喷金,只要你的基底能够导电就可以了,如果在二氧化硅基底上,SEM的图是黑色的,不过放大以后还是能看到一些细节的威威号(站内联系TA)不用喷金,把石墨烯用水分散,足够稀（几乎看不到颜色）,超声.

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