电子扫描显微镜（SEM）的工作原理？？？

SEM通过电子来使样本放大50万倍，相当于将1毫米放大到500米。同时，SEM也可以分析样品的组成元素。SEM产生电子束撞击样品原子的电子层，产生X射线，释放不同程度的能力，从而判断原子的种类。这项技术也被称为X射线微探技术，对于分析枪击痕迹非常有用。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

1. 利用透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy TEM）可以直电子显微镜观测图接获得一个样本的投影.在这种显微镜中电子穿过样本,因此样本必须非常薄.组成样本的原子的原子量、加速电子的电压和所希望获得的分辨率决定样本的厚度.样本的厚度可以从数纳米到数微米不等.原子量越高、电压越低,样本就必须越薄. 通过改变物镜的透镜系统人们可以直接放大物镜的焦点的像.由此人们可以获得电子衍射像.使用这个像可以分析样本的晶体结构. 2. 在能量过滤透过式电子显微镜（Energy Filtered Transmission Electron Microscopy,EFTEM）中人们测量电子通过样本时的速度改变.由此可以推测出样本的化学组成,比如化学元素在样本内的分布. 3. 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope,SEM）中的电子束尽量聚焦在样本的一小块地方,然后一行一行地扫描样本.入射的电子导致样本表面散发出电子,显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子.由于这样的显微镜中电子不必透射样本,因此其电子加速的电压不必非常高.场发射扫描电子显微镜是一种比较简单的电子显微镜,它观察样本上因强电场导致的场发射所散发出来的电子. 4. 假如观察的是透过样本的扫描电子的话,那么这种显微镜被称为扫描透射电子显微镜（Scanning Transmission Electron Microscopy,STEM）.

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