求大神帮解说一下什么是SEM XRD EDS 分析方法和原理 本人零基础 大体了解一下

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SEM是扫描电子显微镜,最高可放大至20万倍左右,用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪,是每种元素对应的电子能不同,来鉴别元素,通常是和SEM结合使用,也就是说在SEM上安装EDS附件,在观看形貌时,选择一定区域用EDS打能谱,也就知道了该区域的元素组成。XRD是X射线衍射仪,其原理是高压下,阴极发出的电子形成高能电子束,轰击阳极靶材(通常是Cu),靶材的内部电子能量升高,被激发出来,当它回到基态的过程中,多余的能量以X射线、俄歇电子等形式释放出来。XRD收集的是其中的X射线,X射线扫到样品上,会根据布拉格方程产生衍射角,衍射峰。每种物质(不同样品)的衍射峰不同,因此通常用来鉴别物相,也会根据峰面积算半定量。

一般工件上的涂层是通过各种方式喷涂或屠夫上去的,所以厚度至少在百微米级。因此建议使用X射线衍射仪表征其物相(简称XRD,直接将涂层那一面放于检测位置)。这种涂层一般都是具有晶体结构的无机物,物相就可以认为是其成分。当然,还可以利用X射线荧光的方式再次鉴定成分(简称XRF),和X射线衍射的结果相印证。厚度比较简单,既然厚度至少在微米级,可以将工件切割出一部分置于光学显微镜或电子显微镜下观察(简称SEM),会有相应的尺寸显现出来。


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