求大神帮解说一下什么是SEM XRD EDS 分析方法和原理 本人零基础 大体了解一下

SEM是扫描电子显微镜，最高可放大至20万倍左右，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪，是每种元素对应的电子能不同，来鉴别元素，通常是和SEM结合使用，也就是说在SEM上安装EDS附件，在观看形貌时，选择一定区域用EDS打能谱，也就知道了该区域的元素组成。XRD是X射线衍射仪，其原理是高压下，阴极发出的电子形成高能电子束，轰击阳极靶材（通常是Cu），靶材的内部电子能量升高，被激发出来，当它回到基态的过程中，多余的能量以X射线、俄歇电子等形式释放出来。XRD收集的是其中的X射线，X射线扫到样品上，会根据布拉格方程产生衍射角，衍射峰。每种物质(不同样品)的衍射峰不同，因此通常用来鉴别物相，也会根据峰面积算半定量。

一般工件上的涂层是通过各种方式喷涂或屠夫上去的，所以厚度至少在百微米级。因此建议使用X射线衍射仪表征其物相（简称XRD，直接将涂层那一面放于检测位置）。这种涂层一般都是具有晶体结构的无机物，物相就可以认为是其成分。当然，还可以利用X射线荧光的方式再次鉴定成分（简称XRF），和X射线衍射的结果相印证。厚度比较简单，既然厚度至少在微米级，可以将工件切割出一部分置于光学显微镜或电子显微镜下观察（简称SEM），会有相应的尺寸显现出来。

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