用afm测出的粗糙度跟用sem做出的厚度两者之间有什么差别

用afm测出的粗糙度跟用sem做出的厚度两者之间有什么差别,第1张

粗糙组和厚度是完全两个概念,二者之间没有直接的联系和差别。

AFM测的粗糙度是材料的表面形貌特征。

而你SEM做出来的厚度,只是表征材料厚度的,和表面粗糙度没有联系

1.比较法:将被测表面和表面粗糙度样板直接进行比较,多用于车间,评定表面粗糙度值较大的工件。

2.光切法:是应用光切原理来测量表面粗糙度的一种测量方法。常用仪器——光切显微镜,(双管显微镜)。 该仪器适用于车.铣.刨等加工方法获得的金属平面。或外圆表面。主要测量Rz值,测量范围为Rz0.5~60µm。

3、干涉法: 是利用光波干涉原理测量表面粗糙度的一种测量方法。常用仪器是干涉显微镜。主要用于测量Rz值。测量范围为Rz0.05~0.8µm。一般用于测量表面粗糙度要求高的表面。

4、针描法: 是一种接触式测量表面粗糙度的方法,最常用的仪器是电动轮廓仪,该仪器可直接显示Ra值,适宜于测量Ra值0.025~6.3µm。

5、印摸法: 在实际测量中,常会遇到深孔,盲孔。凹槽,内螺纹等既不能使用仪器直接测量,也不能使用样板比较的表面。这是常用印摸法。印摸法是利用一些无流动性和弹性的塑性材料(如石蜡等)贴合在 被测表面上。将被测表面的轮廓复制成模。然后测量印模,从而来评定被测表面的粗糙度。

一般采用1、4,电动轮廓仪也称为粗糙度仪,国内很多仪器供应商都有,例如:北京时代


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