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SEM所用的是能谱仪,精度不高,只能分析表面几十nm的深度范围,你用SEM做能谱时Ca,O元素都明显打出来了吗,另外你的材料里本身有没有S元素,含量如何,如果含量较少也可能打的不清晰。最后一点,你SEM时样品的衬底用的什么?会不会是衬底峰将S元素的峰掩盖 了
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