SEM制样时喷金为什么要用黄金或铂金类金属

SEM制样时喷金为什么要用黄金或铂金类金属,第1张

金属镀膜法和组织导电法

镀导电膜对于sem有效分析不导电样品有不可缺少

但是导电膜也有可能由于本身的特点造成图像的扭曲甚至假象

一般导电膜无外乎三种材料:Au,Pt,C

专家建议,需要高分辨的情况下,尽量使用Pt或者Pt-Pd合金膜

因为它对图像的扭曲最小。

低分辨率下,要不要喷金根据材料电导率决定,一般分辨率会比较清晰高分辨率下(0.5微米往下),导电不好的材料表面会模糊不清。喷金之后,表面导电性改善,分辨率能达到几十纳米左右。所以金属样品不用喷金,而陶瓷纳米颗粒样品最好在表面镀层铂金。如果在SEM下做元素分析的话,最好不要喷金,这样污染比较大


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