区别:
SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。
TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。
透射电镜是用高能电子束(加速电压一般在200KV以上)照射样品,透过样品的电子由于样品厚度、元素、缺陷、晶体结构等的不同,会产生不同的花样或图像衬度,由此可以推测样品的相关信息。由于电子束要能透过样品,因此样品厚度要求很薄,一般要小于100纳米。如果要做高分辨,要求更薄。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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