扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜,它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅,将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像
sem观察金属熔覆电时出现了氖元素是正常的,在用 SEM观察时发现,熔覆层中出现黑白两层交替分层现象。通过成分分析表明,黑层组织是富这种双层组织形成过程与激光熔覆时熔池中液态金属的流动密切相关,文献 13指。sem通过探测信号来获取样品表面成分信息,扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。
电子光学系统,由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径,信号收集及显示系统。
检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。
真空系统真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法,把样品表面不同的特征,按顺序,成比例地转换为视频信号,完成一帧图像,从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。
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