不导电材料能谱分析的问题

不导电材料能谱分析的问题,第1张

可以,做SEM时,电子射入材料时是散射开的,纵向截面类似于一个葫芦形,所以它探测到的反射能谱不是最表面的材料,如果你入射能量大,甚至可以深入材料几个微米的深度。所以SEM能谱分析得出的不是最表面那几层原子,还要更深一些,是一个葫芦状微观三维区域的原子能谱。

镀金膜导电可以让表面形貌的图像更清晰,但是仪器会自动将能谱里的金峰标出,不会影响其他元素的判断。

文献里看不到金峰,可能是由于作者只取了对自己有用的那一段能谱进行说明,而没有打出全部能谱

扫描电镜对不导电样品的处理是比较常见的问题,可以采用的方法有几种。

尽量将块状样品做小,甚至做成粉末,使样品与样品座的接触良好。

对观察样品进行镀金或喷碳处理,使样品表面形成导电膜,利于电荷流走。

最好再用导电胶将喷碳或喷金后的样品表面与样品座(台)连接,以减少电子积累。

对于无法很好解决放电效应对图像影响的,可以加快扫描速度,或用集成模式采集图像,以抑制电荷积累。

用扫描电镜的背散射探头采集图像,几乎不会有放电效应,因为背散射信号强度比较高,不会为放电电荷干扰。


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