SEM 实验

SEM 实验,第1张

烧结试样的 SEM 分析采用日本日立公司生产的 S-520 扫描电子显微镜完成。首先将试样的新鲜断裂面在 IB-3 离子溅射渡膜仪中喷渡厚度约为 10 ~20 nm 的金,对结构致密的部分试样断裂面采用 40%浓度的氢氟酸 ( HF) 侵蚀 20min 后进行镀金,然后放入 SEM样品室内进行观察,电子枪电压采用 20kV,电子束流为 150 mA,并用照相方式记录样品的二次电子图像 ( 或称之为形貌像) 。

具体选择的电压需要根据具体样品来选择的,一般来讲金属和半导体可能中压10KV和5KV都可以,高分子最好选择5KV的低压,这样可以得到更好的图片效果。

以为高分子的导电性能很差,且容易被电压击穿,所以要选择低电压和快速照相模式的组合。

而金属和半导体,导电性能都还好,可以根据调试的效果自行选择电压来操作。

并没有硬性的规定金属,半导体,高分子具体要多少电压。这些都是需要根据具体的图像质量来不断调整的


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