磁控溅射，电流没问题，电压加不上去（最大60v）是什么原因?

纯金属的二次电子发射系数要低一些，溅射电压高是正常现象，靶表面溅干净就好了，如果一直没有变化，要查一下系统漏气。

一般情况下化合物的二次电子发射系数高于纯金属，因此同样条件下，靶表面有氧化物与干净的金属靶面相比溅射电压要低，还是要在纯氩条件下把靶表面化合物溅射干净后，溅射电压就会升高至原来的值，大概需要几分钟的样子，如果一直没变化，则要检查气体纯度、漏气等原因。

可能是你所套的靶材套距离靶材较近，之间的电阻较小，不能累计电压，之间距离可以适当增大一些

靶材套是绝缘的，有影响吗？因为靶套与靶本来也是接触的。

18-20。

调电压，18-20kv，进行点扫描时电压一定要达到20kv。调节对比度和亮度。调节放大倍数→找点、快速扫描（300us）→慢速扫描（30ns）→暂停。

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