电子探针仪:EPMA(Electron Probe MicroAnalyzer) (electron probe)
一种电子束显微分析的仪器,是通过电子束激发试样微区产生的二次电子、背散射电子、及X射线等信息,进行试样表面形貌观察及成分分析。成分分析主要用波谱仪(WDS),也可以用能谱仪(EDS)。其配置应包括一个能将电子束聚焦成微米、亚微米尺度的电子光学系统(镜筒)。一台对试样位置进行观测和精密定位的光学显微镜和一套波谱仪, 也可以附加一套能谱仪。其电子光学系统应包括电子束扫描系统以及一个或多个电子探测器,以便具有扫描电镜的成像功能。
如果不需要那么严格的话就很简单了:直接用手持式合金分析仪,动动手指就可以了。该仪器的价格就我接触过的而言,大概每台在20万元左右。
你可以搜索一下残余应力测量方法,X射线法、磁性法和超声法能无损测定残余应力;XRD衍射是测定物相的,(比如分辨氧化铝是阿尔法相,贝塔相还是伽马相),一般测量精度较差,大于5%以上可以分辨,也可以进行粗略的半定量分析;透射电镜TEM观察的样品是薄样品(厚度约200um),有成像模式和衍射模式两种工作方式。可配备EDS和EELS(电子能量损失谱),用于分析微区形貌、成分、晶体结构、晶体缺陷等;
扫描电镜和电子探针一般做形貌分析,分背散射和二次电子两种模式,背散射可以根据致密材料的明暗程度分辨不同的相,二次电子景深较高,成像较清晰,可以做粉体、多孔材料和致密材料的形貌分析;电子探针即EPMA(电子探针显微分析),最初的目的是以电子束为探测源来分析样品中微区的化学成分,一般配备波谱仪。而扫描电镜SEM,其最初目的是为了观察样品表面形貌,一般配备能谱仪。现在,电子探针上也可配备能谱仪,扫描电镜上也可配备波谱仪,EPMA和SEM并没有本质上的区别;
能谱仪和SEM,EPMA配备在一起,用于选定显微区域的成分分析。
红外光谱分析可用于研究分子的结构和化学键,也可以作为表征和鉴别化学物种的方法,有机领域用的多;
拉曼光谱的原理是拉曼散射效应,对与入射光频率不同的散射光谱进行分析以得到分子振动、转动方面信息,从而可以鉴别物质,分析物质的性质。
具体的请查阅相关资料
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