SEMEDX在测表面元素的时候测得多深？拜托了各位 谢谢

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

SEM，全称为扫描电子显微镜，又称扫描电镜，英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM，全称为透射电子显微镜，又称透射电镜，英文名Transmission Electron Microscope.

区别：

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛，而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径3mm的片，然后去做离子减薄，或双喷（或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求）。

TEM可以标定晶格常数，从而确定物相结构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，但无法准确测定结构。

不可以。

由于微塑料尺寸较小，我们可以尝试EDS观测其形貌。样品形貌均一，元素分布均匀，无明显微塑料的信息，多次尝试未果，所以未经分离富集的土壤样本直接进行微观分析，难以发现微塑料的信息。eds穿透能力和样品密度也有关的。

eds不是表面技术，和sem形貌信号源完全不同，当然没可比性，eds纵向分析深度至少也是微米级。扫描电镜的能谱分析就是分析的表面附近一两个微米以内范围的成分。这是因为电子束的能量有限，不可能打到厚度较深的区域。sem电子束的穿透深度是微米级的，如果你样品表面只有几纳米，建议用其他表征方法。sem穿透深度和你用的加速电压有关系，电压小穿透浅，你可以试试用5千伏特。

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