电子束加工，离子束加工和激光加工相比，各有什么优缺点

三者都适用于精密、微细加工，但电子束、离子束需在真空中进行，因此加工表面不会被氧化、污染，特别适合于“清洁”、“洁净”加工。离子束主要用于精微“表面工程”，激光因可在空气中加工，不受空间结构的限制，故也适用于大型工件的切割、热处理等工艺。

o1、是一种精密微细的加工方法。 2、非接触式加工，不会产生应力和变形。 3、加工速度很快，能量使用率可高达90％。 4、加工过程可自动化。 5、在真空腔中进行，污染少，材料加工表面不 氧化。 6、电子束加工需要一整套专用设备和真空系 统，价...

优点：1、靶材粒子能量高（比热蒸发高出1个数量级），所制备膜层更致密，与基板结合力更高；

2、一般备有辅助离子源，可以用来清洗基板，清洗效果好；

3、易于制备熔点高的材料；

4、制备合金膜层，可以保证膜层材料比例与靶材相同；

5、由于装有中和器，也可以用来制备绝缘膜层；

缺点：1、一般镀膜速率较慢，几十埃每秒；

2、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁；

3、不适宜制备较大面积薄膜；

除有机材料和易分解的材料，一般都可以用离子束溅射镀膜，氧化物膜层的制备需要辅助通氧。

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