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纳米压痕得到的是载荷-位移曲线,从曲线中可以直接计算出力学数据。因此,纳米压痕无需直接观察残留的压痕痕迹,通过测得的曲线就可以获得力学信息。这对于微区、薄膜等难以获得准确压痕印迹面积的测量,尤为有效。主要是压痕更小,用于微区组织硬度的测量。纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术,它通过计算机程序控制载荷发生连续变化,实时测量压痕深度,由于施加的是超低载荷,监测传感器具有优于1nm的位移分辨率,所以,可以达到小到纳米级(0.1~100nm)的压深,它特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料力学性能
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