SEM制样时样品为什么要干燥

SEM制样时样品为什么要干燥,第1张

1、高真空环境是分子流,湿的样品不断释放水蒸气,使高真空情况下,真空度很难上升,往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应,会加速电子枪灯丝挥发,极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射,会造成信号损失

4、污染样品

⒈真空泵启动后,系统中的不凝性气体和水蒸汽先被抽出,然后只剩下水分子(液态)。

⒉随着真空度的增加,系统内绝对压力降低,当系统内的绝对压力降低到与环境温度相对应的饱和水蒸汽压力时,系统内剩余的水分子沸腾成水蒸气,被继续抽出——需要注意的是,抽真空过程中,在正常操作情况下,系统内的温度和外界环境温度是一致的。这也是环境温度越低,抽真空越难,速度越慢的原因。


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