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SEM 固体材料样品制备方便,只要样品尺寸适合,就可以直接放到仪器中去观察。样品直径和厚度一般从几毫米至几厘米,视样品的性质和电镜的样品室空间而定。对于绝缘体或导电性差的材料来说,则需要预先在分析表面上蒸镀一层厚度约10~20 nm的导电层。 否则,在电子束照射到该样品上时,会形成电子堆积,阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。导电层一般是二次电子发射系数比较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。 在某些情况下扫描电镜也可采用复型样品。SEM样品制备大致步骤: 1. 从大的样品上确定取样部位; 2. 根据需要,确定采用切割还是自由断裂得到表界面; 3. 清洗; 4. 包埋打磨、刻蚀、喷金处理你的镀膜喷的是什么金属,金,pt,Pt/Pa,还是Ir?如果是Au,Pt的可以用王水溶掉吧我没做过,只是猜测。至于镀层厚度,要看你的具体情况了,几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点,如果想观察到清晰图像,不被样品的二次电子干扰,可能就要厚一点。
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