EDX是什么仪器啊？？？

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer（能量色散X射线荧光光谱仪）

EDS:Energy Dispersive Spectrometer（能量色散谱仪）

EDAX:美国一家生产EDX和EDS的厂家，目前归Ametek所有。

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

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