电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???,第1张

SEM通过电子来使样本放大50万倍,相当于将1毫米放大到500米。同时,SEM也可以分析样品的组成元素。SEM产生电子束撞击样品原子的电子层,产生X射线,释放不同程度的能力,从而判断原子的种类。这项技术也被称为X射线微探技术,对于分析枪击痕迹非常有用。

对于形貌成像:主要信号是二次电子,背散射电子

也有使用吸收电流成像,是比较特殊的应用,往往用于专门材料检测。

对于成分分布成像:背散射电子, 阴极荧光,元素特征X射线,


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