SEM制样时样品为什么要干燥

1、高真空环境是分子流，湿的样品不断释放水蒸气，使高真空情况下，真空度很难上升，往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应，会加速电子枪灯丝挥发，极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射，会造成信号损失

4、污染样品

对真空度有影响的因素主要有以下几个:

(1)冷却水量和温度:蒸发的真空度是通过各种冷凝器用水冷凝蒸汽,并引除不凝气体而形成的。由于水的饱和蒸汽压随温度的升高而增大,所以排出冷却水的温度越高,可达到的真空度越低。要达到理想的真空度,就应尽可能的降低冷却水的出口温度,并且冷却水量越大,冷却水进口温度越低,则冷却水出口温度越低,得到的真空度越高。

(2)不凝气:蒸发系统要获得较高的真空度,不但要使蒸汽完全冷凝,而且还要把系统内的不凝气尽量抽吸干净。由于真空设备的单位时间内排除不凝气体积能力是一定的,因此我们必须尽量减少带入系统的不凝气量。为了使装置获得较高的真空度,必须提高管道、设备的密闭性能,同时采用排容量大的真空设备。

(3)真空设备的阻力:要提高真空度,适当简化真空管和除沫装置十分必要。

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