波谱仪名词解释

波谱仪是一种用于地球科学、材料科学、考古学领域的分析仪器。

电子探针利用聚焦得非常细(微米-纳米级)的高能电子束轰击样品表面，激发待测样品的有用信息(如特征X射线、二次电子、背散射电子等)，通过分析这些信息达到对样品微区成分分析和形貌观察的目的。配备有5道谱仪，既可以进行二次电子像(SEI)、背散射电子像(BSI)、透射电子像、吸收电子像、特征X射线的线或面分布像等，又可以进行元素分析，包括定性和定量分析，以及元素的点、线和面分析。

　能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

波谱仪是利用波谱法对物质的成分和结构进行分析的仪器，包括X射线波谱仪，核磁共振波谱仪等。

能谱仪具有分析速度快，灵敏度高，谱线重复性好的有点；也具有能量分辨率低、峰背比低，要求严格的缺点。

波谱仪的优点是波长分辨率高，但由于结构特点，波谱仪想要有足够的色散率，其聚焦圆的半径就要足够大，而这会导致X射线光量子的收集率降低。

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