如果看金相,需要从形状形貌上来鉴别是什么相,肯定需要腐蚀,因为SEM成像,需要有确切的形貌存在,例如镜面抛光后,图像没有形貌反差,也就无从鉴定相。有时候看夹杂物则无需腐蚀,镜面抛光后,直接使用BSE信号成像,会清晰的表现Z反差。但一般的Z反差和相反差并不完全相符。
FIB带有SEM功能;FIB另外的功能就是微纳加工。SEM是电子束成像原理.
FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).
如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.
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