用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。如果一批单层薄膜厚度不均匀，不但影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等，更会影响薄膜的后续加工。所以对于复合薄膜，厚度的均匀性就更加重要。薄膜的厚度测量是薄膜制造业的基础检测项目之一。目前测量薄膜厚度的方法有在线测厚和非在线测厚。如果想要精准测量的话可以选择立仪科技的产品，他们家的测厚仪在很多领域都有非常好的应用效果，可以实时测量，而且测量数据精准可靠。

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