台阶仪测量薄膜厚度的优缺点。

台阶仪测量薄膜厚度的优缺点如下：

1、台阶仪测量薄膜厚度的优点：能够迅速测定薄膜的厚度及分布，可靠直观，具有相当准确的精度。

2、台阶仪测量薄膜厚度的缺点：不能记录表面上比探针直径小的窄裂缝、凹陷，由于触针的尖端直径很小，易将薄膜划伤、损坏。

1.在线膜厚监控法

2.无损检验法

3.破坏法

说点实际的吧：用的最多的还是台阶仪吧，我公司就是。比较简单，方便。如果想节约成本，用球磨仪打磨后测量，计算厚度

---