用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

楼主的无机非金属材料是否导电？使用的扫描电镜是什么？建议从两方面着手：一是对样品进行喷金处理增加样品的导电性；二是降低扫描电镜的加速电压缓解设备的充电现象。要是样品比较细，建议对样品进行超声波处理，增加样品的分散性！

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