扫描电镜生产厂家

1、盈普仪器科技（宁波）有限公司

2、深圳市瑞盛科技有限公司

3、深圳市纳科科技有限公司

4、惠州市华高仪器设备有限公司

5、苏州安原仪器有限公司

扫描电子显微镜，简称：扫描电镜，英文名称：SEM(ScanningElectronMicroscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，

通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组合，可以进行成分分析。所以SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

FEI 是一家生产、经营电镜科学仪器的业内全球领先企业。 其产品包括电子和离子束显微镜，以及可满足多个行业纳米尺度应用的相关产品，这些行业横跨： 工业和理论 材料研究、生命科学、半导体、数据存储、自然资源 等等诸多领域。凭借过去 60 年的技术创新历史和业内领导地位， FEI 成为了透射电子显微镜 (TEM)、 扫描电子显微镜 (SEM)、结合了 SEM 与聚焦 离子束 (FIB) 的 DualBeam™ 仪器和 用于精密高速切割与加工的专用聚焦离子束仪器的 性能标准。 FEI 成像系统在三维表征、分析 和修改/原型设计领域实现了 亚埃（埃：十分之一纳米）级分辨率。 FEI NanoPorts 在中国上海、美国俄勒冈州波特兰、荷兰埃因霍温 和东京均有设点，它们都是卓越中心。在这里，众多科学家、研究者以及工程师 都可在 FEI 应用专家的直接帮助下 体验世界级显微 分辨率。 本公司有近 1800 名员工，已在全球超过 50 个国家或地区开展了 销售和 服务业务。

当今世界正不断开拓针对纳米技术的新领域。从体积更小、功能更强大的电子设备到高性能材料，从智能药物到梦想出现可用于体外治疗的纳米机器--本世纪最伟大的某些创新都是着眼于纳米技术的。而纳米级研究工具则FEI公司独占鳌头。我们是世界上最顶尖的纳米级研究、探索和设计的引领者。FEI向全球领先的研究开发机构提供全面的纳米和原子尺度表征、纳米分析、纳米加工和纳米原型设计工具。这些工具包括透射电子显微镜TEM、描电子显微镜SEM、聚焦离子束FIB以及扫描电镜SEM/聚焦离子束FIB“双束”显微镜等。

FEI 在全球所建立的组织可快速、高效地服务客户。我们在全球拥有超过1,700 名的工程、应用、服务和协作支持人员；在北美和欧洲则拥有研发及制造中心；在北美、欧洲和亚洲还拥有产品及纳米技术解决方案中心，并在全世界50 多个国家建立了销售及支持部门。

FEI中国包括以下机构和办公室:

上海代表处: 国内销售和售后服务中心（包括香港，澳门）

北京代表处: 北京及其北方地区销售和售后服务

广州联络处: 广东地区销售和售后服务

武汉联络处: 湖北地区销售和售后服务

FEI公司目前在国内和香港有近50名员工, 其中半数以上是售后服务工程师, 他们认真负责的工作态度和精湛的技术水平在国际上的同类公司中出类拔萃。

FEI在国内定期和不定期地举办各类用户会议、技术交流会、讲座、专题培训等活动, 同时大力支持中国电镜学会、地方电镜学会等学术团体开展活动。

1923年，法国科学家Louis de Broglie发现，微观粒子本身除具有粒子特性以外还具有波动性。他指出不仅光具有波粒二象性，一切电磁波和微观运动物质(电子、质子等)也都具有波粒二象性。电磁波在空间的传播如图4-1所示，是一个电场与磁场交替转换向前传递的过程。电子在高速运动时，其波长远比光波要短得多，于是人们就想到是不是可以用电子束代替光波来实现成像?

1926年，德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称性的磁场对电子束来说起着透镜的作用。从理论上设想了可利用磁场作为电子透镜，达到使电子束会聚或发散的目的。

有了上述两方面的理论，1932年，德国柏林工科大学高压实验室的M.Knoll和E.Ruska研制成功了第1台实验室电子显微镜，这是后来透射式电子显微镜（transmission electron microscope，TEM）

的雏形。其加速电压为70kV，放大率仅12倍。尽管这样的放大率还微不足道，但它有力地证明了使用电子束和电磁透镜可形成与光学影像相似的电子影像。这为以后电子显微镜的制造研究和提高奠定了基础。

1933年，E.Ruska用电镜获得了金箔和纤维的1万倍的放大像。至此，电镜的放大率已超过了光镜，但是对显微镜有着决定意义的分辨率，这时还只刚刚达到光镜的水平。1937年，柏林工业大学的Klaus和Mill继承了Ruska的工作，拍出了第1张细菌和胶体的照片，获得了25nm的分辨率，从而使电镜完成了超越光镜性能的这一丰功伟绩。

1939年，E.Ruska在德国的Siemens公同制成了分辨率优于10nm的第1台商品电镜。由于E·Ruska在电子光学和设计第1台透射电镜方面的开拓性工作被誉为“本世纪最重要的发现之一”，而荣获1986年诺贝尔物理学奖。

除Knoll、Ruska以外，同时其他一些实验室和公司也在研制电镜。如荷兰的菲利浦（Philip）公司、美国的无线电公司(RCA)、日本的日立公司等。1944年Philip公司设计了150kV的透射电镜，并首次引入中间镜。1947年法国设计出400kV的高压电镜。60年代初，法国制造出1500kV的超高压电镜。1970年法国、日本又分别制成3000kV的超高压电镜。

进入60年代以来，随着电子技术的发展，特别是计算机科学的发展，透射电镜的性能和自动化程度有了很大提高。现代透射电镜（如日立公司的H-9000型）的晶格分辨率最高已达0.1nm，放大率达150万倍。人们借助于电镜不但能看到细胞内部的结构，还能观察生物大分子和原子的结构，应用也愈加广泛和深入。

扫描电镜(scanning electron microscope, SEM)作为商品出现则较晚，早在1935年，Kn-

oll在设计透射电镜的同时，就提出了扫描电镜的原理及设计思想。1940年英国剑桥大学首次试制成功扫描电镜。但由于分辨率很差、照相时间过长,因此没有立即进入实用阶段，至1965年英国剑桥科学仪器有限公司开始生产商品扫描电镜。80年代后扫描电镜的制造技术和成像性能提高很快，目前高分辨型扫描电镜（如日立公司的S-5000型）使用冷场发射电子枪，分辨率已达0.6nm，放大率达80万倍。

我国从50年代初开始研制透射电镜，1959年第1台透射电镜诞生于上海新跃仪表厂，此后中型透射电镜开始批量生产。目前国产透射电镜分辨率已达0.2nm，放大80万倍。扫描电镜也于70年代开始生产。国内主要生产电镜的厂家是:北京中科院科学仪器厂、上海新跃仪表厂、南京江南光学仪器厂等。

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