微观成像是扫描电镜基本功能,要求高分辨,So可为其他特征信号分析提供精确导航!
SEM一般标配SE探测器,用SE信号获得高分辨像,且SE信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。
Why SE not other?
比靠斯:在电子束样品作用区,可能只有SE取样面积与电子束斑尺寸最接近,且对其尺寸敏感! 敏感到啥程度? 例如样品是黄金,SE1的取样面积和束斑面积相同。
BSE也是常用成像信号,但对于黄金样品,电子探针束斑直径1nm 或 2nm,其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近,大多情况,其分辨率和加速电压相关较多。
总结:提到扫描电镜分辨率,大概就是在说这台电镜的性能,用SE成像分辨率是最为精确的表达,主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。
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