如何制备SEM样品的横断面

如何制备SEM样品的横断面,第1张

如果你的不锈钢可以用手掰弯的话。你可以试试对样品掰弯处理,因为氧化铝模板是脆性的,所以在掰弯的时候肯定有地方裂开,裂开往上翘的角度大的在平面SEM中就可以侧向看到断面,我用过这个方法,还算是比较有效的方法

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:

献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

近几年,扫描电镜发展速度特别快,很多新型扫描电镜因为具有减速电压模式,可以直接拍摄不导电样品,因此无需喷金。因此,题主首先要确认,所用是否有减速电压模式。对于传统电镜,判断是否喷金可以作如下判断:

原理介绍:铝合金阳极氧化膜根据制作工艺和用途的不同,厚度为几纳米到几十微米不等,而电镜电子束打到样品的深度为一到几微米。

1、拍表面:当氧化膜厚度在微米级以下,电子束可以打穿,进入铝合金导电层;厚度在几微米以上,就要喷金处理。

2、拍表面:当只需要放大到几万倍则喷金不影响形貌,当需要放大到几十万甚至几百万倍,则喷金会影响形貌,建议喷白金(Pt)。

3、拍断面:不喷金的话,氧化膜断面很难拍摄清晰。

如果,题主不能判断以上信息,可以不喷金和喷金各放一个,对比拍摄,几乎不会增加工作量,就可以明确了


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