sem的eds和mapping什么区别

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

这是EDAX公司制造的EDS 采集SEM图像做能谱分析时候的信息，具体如下：

KV 加速电压 ：15千伏特

Mag（magnification） 放大倍数：1700倍

TILT 样品台倾斜角度：0°

MicronsPerPixY 样品上编制的每个像素面积：0.071平方微米。可以换算成束斑尺寸，直径大概300nm。

1. 可以。无论是SEM还是TEM均可，只是多数情况下，EDS采用无标样定量，定量分析结果是半定量的，不能作为决断性证据，而只能做其他表征手段的support information。分析方法很简单，EDS能谱都有直接定量分析的功能，为了准确，你可以多点分析（大于20个点），取平均值。2. 一个点的分析区域对于通常的SEM区域是以电子束束斑为大小的圆斑，往下是一个梨形扩展区，通常会有几个立方微米的空间，但如果只是一个单分散的纳米颗粒，下面没有其他干扰，分析区域可以准确到电子束斑大小。对于TEM，则和后面的那种情况相同。顺便说一下：在EDS采集样品信息时，一般建议用取点分析，而不是取框，因为如果不做设定，通常一个点的分析时间和一个框的总分析时间相同，那么一个框的分析时间平均到每个区域点，会使采样时间极其短暂，从而影响定量结果的准确性（信号量不足会影响少量元素组分的定量）。

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