sem的eds和mapping什么区别

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

这是EDAX公司制造的EDS 采集SEM图像做能谱分析时候的信息，具体如下：

KV 加速电压 ：15千伏特

Mag（magnification） 放大倍数：1700倍

TILT 样品台倾斜角度：0°

MicronsPerPixY 样品上编制的每个像素面积：0.071平方微米。可以换算成束斑尺寸，直径大概300nm。

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