怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

）先做一个N2吸附测试，得到吸附等温线；然后用不同的计算模型分析表面积和孔径分布；

2）比表面积可以看BET数据或langmuir数据，大部分人喜欢用BET数据；

3）孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据，这个由材料的孔径确定。

首先，你需要先用内径量表测出四个销孔的具体大小的实测值；因你需要检验如图零件的各孔位置，按基孔制配合原则，制作的检测销应该是过渡配合，即销子要和孔直径上有过度量，确保销子和孔配合紧密。

然后装入检测销就可以开始检测孔距和位置度了。

大批量流水式作业检测孔的直径大小，可以事先在透明塑料卡上以黑色印制一系列标准圆，然后以之比对。例如，楼主要测量的是5mm直径的圆，那么对比卡上可以印制4.5mm、4.75mm、5mm、5.25mm、5.5mm等标准圆。在微电子元器件制作业，有的厂家称之为“菲林”。

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