怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

怎么统计sem膜孔不规则孔径分布,第1张

)先做一个N2吸附测试,得到吸附等温线;然后用不同的计算模型分析表面积和孔径分布;

2)比表面积可以看BET数据或langmuir数据,大部分人喜欢用BET数据;

3)孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据,这个由材料的孔径确定。

首先,你需要先用内径量表测出四个销孔的具体大小的实测值;因你需要检验如图零件的各孔位置,按基孔制配合原则,制作的检测销应该是过渡配合,即销子要和孔直径上有过度量,确保销子和孔配合紧密。

然后装入检测销就可以开始检测孔距和位置度了。


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