为什么扫描电镜分析材料元素组成是不能测定H的含量

扫描电镜测定元素含量用的是能谱仪EDS，能谱仪的原理简单地说，电子束将样品表层原子的内层电子撞走，外层电子电子回落并以X射线形式释放特征能量信号，探测器接收信号测出元素含量，氢氦没有内层电子所以不能测定

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份，只能测试材料表面，根据电压不同测试的厚度不同，且轻元素是测试不了的，不记得是Be还是B之前的元素了，反之从C开始都能测试到，准确性很差。

这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

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