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扫描电镜测定元素含量用的是能谱仪EDS,能谱仪的原理简单地说,电子束将样品表层原子的内层电子撞走,外层电子电子回落并以X射线形式释放特征能量信号,探测器接收信号测出元素含量,氢氦没有内层电子所以不能测定扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份,只能测试材料表面,根据电压不同测试的厚度不同,且轻元素是测试不了的,不记得是Be还是B之前的元素了,反之从C开始都能测试到,准确性很差。
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