扫描电镜图片如何分析

扫描电镜图片如何分析,第1张

第一、扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。

一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。

背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。

第二、看表面形貌,电子成像,亮的区域高,暗的区域低。非常薄的薄膜,背散射电子会造成假像。导电性差时,电子积聚也会造成假像。

设某个量X 有 N 个 测量结果:

X1 X2 X3 …… Xn

它们的平均值是 X = (X1+X2+……Xn)/N

用每次测量结果去减这个平均值,然后再平方 得到 (Xi -X)^2

平方的作用是 不论 Xi 比 X 大或小,都得到一个 正数。

把所有的 (Xi-X)^2 加起来,得到了总的离散程度

(X1-X)^2 + (X2-X)^2 + …… + (Xn-X)^2 = ∑(Xi-X)^2

i 从 1 到 N

把总的离散程度 ∑(Xi-X)^2 除以 N(N-1),然后再开方,得到了所谓的 平均标准偏差:

σ = SQRT{[∑(Xi-X)^2]/[N(N-1)]}

这里 SQRT = square root 表示求平方根运算的符号。

除 平均标准偏差外,还有个常用的概念:单次(测量值)标准偏差

σi = σ × √N

数理统计论中有一个重要结论:

X1 X2 …… Xn 中有 68.3% 个测量值落在 [X-σ,X+σ]范围内。一个测量值处在 [X-3σ, X+3σ]范围内的几率是 99.7%。


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