SEM工作时，电子枪发射的入射电子束打在试样表面上，向内部穿透一定的深度，由于弹性和非弹性散射形成一个呈梨状的电子作用体积。电子与试样作用产生的物理信息，均由体积内产生。
二次电子是入射电子在试样内部穿透和散射过程中，将原子的电子轰击出原子系统而射出试样表面的电子，其中大部分属于价子激发，所以能量很小，一般小于50eV。因此二次电子探测体积较小。二次电子发射区的直径仅比束斑直径稍大一些，因而可获得较高的分辨率。
二次电子像的衬度取决于试样上某一点发射出来的二次电子数量。电子发射区越接近表面，发射出的二次电子就越多，这与入射电子束与试样表面法线的夹角有关。试样的棱边、尖峰等处产生的二次电子较多，相应的二次电子像较亮；而平台、凹坑处射出的二次电子较少，相应的二次电子像较暗。根据二次电子像的明暗衬度，即可知道试样表面凹凸不平的状况，二次电子像是试样表面的形貌放大像。
SEM内在试样的斜上方放置有探测器来接受这些电子。接受二次电子的装置简称为检测器，它是由聚焦极、加速极、闪烁体、光导管和光电倍增管组成。在闪烁体前面装一筒装电极，称为聚焦极，又称收集极。在其前端加一栅网，在聚焦极上加250-300V的正电压。二次电子被此电压吸引，然后又被带有10kV正电压的加速极加速，穿过网眼打在加速极的闪烁体上，产生光信号，经光导管输送到光电倍增管，光信号转变为电子信号。最后输送到显示系统，显示出二次电子像。
扫描电镜是高能电子散射固体材料，可获得许多特征信号！微观成像是扫描电镜基本功能，要求高分辨，So可为其他特征信号分析提供精确导航！
SEM一般标配SE探测器，用SE信号获得高分辨像，且SE信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。
Why SE not other？
比靠斯：在电子束样品作用区，可能只有SE取样面积与电子束斑尺寸最接近，且对其尺寸敏感！ 敏感到啥程度？ 例如样品是黄金，SE1的取样面积和束斑面积相同。
BSE也是常用成像信号，但对于黄金样品，电子探针束斑直径1nm 或 2nm，其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近，大多情况，其分辨率和加速电压相关较多。
总结：提到扫描电镜分辨率，大概就是在说这台电镜的性能，用SE成像分辨率是最为精确的表达，主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。
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