如何解决SEM图像的漂移问题

如何解决SEM图像的漂移问题,第1张

我自己碰到的图像漂移有:

1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

第一、扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。

一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。

背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。

第二、看表面形貌,电子成像,亮的区域高,暗的区域低

非常薄的薄膜,背散射电子会造成假像。导电性差时,电子积聚也会造成假像。

原因是你的样品导电性不好,在电子束的照射下产生了放电。如果你对放大倍数要求不高,可以在样品表面进行喷金或者喷碳处理,来提高样品的导电性能,这样可以消除放电。

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜,它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅,将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像。在最常见的SEM模式下,用艾弗哈特-索恩利(Everhart-Thornley)探测器可以检测到由电子束轰击原子所激发的二次电子。不考虑其它因素,可以检测到的二次电子数以及信号强度取决于样品形貌。扫描电镜的分辨率可达1 nm。


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