怎么用SEM看薄膜截断面

怎么用SEM看薄膜截断面,第1张

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:

献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

可以把材料切一小块儿,然后镶样吧(就像磨小试样的金相一样),磨好后再喷金,然后再用SEM观察玻璃涂层的均匀性以及厚度吧。楼上说的掰断的方法,看是能看,但看的都是

断口

的形貌吧,是否会影响观察玻璃涂层的厚度呢。


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