扫描电镜SEM是指什么?

扫描电镜SEM是指什么?,第1张

扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

电镜辐射来源主要源于,电子枪发射的电子束和电子束激发样品表面出来的各种信号。而电子束直径只有纳米到10纳米级别,因此产生的辐射很少很少。同时,电镜电子枪位置有大块铅块吸收辐射,样品仓由很厚的金属材料做成,因此对于电镜整体而言,几乎没有对外的辐射。

另外,需要提醒楼主的是,电镜虽然辐射不大,不过电镜样品千奇百怪,不免遇到一些有毒有害的物质材料,楼主需要做好保护措施(手套,口罩),既保护自己,又保护电镜和样品不受污染


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